ATE自动检测系统:ATE的发展历程
ATE是Automatic Test Equipment的缩写, 于半导体产业意指集成电路(IC)自动测试机, 用于检测集成电路功能之完整性, 为集成电路生产制造之最后流程, 以确保集成电路生产制造之品质.
ATE在60年代早期始于快捷半导体(Fairchild)。 那时Fairchild生产门电路器件(如14管脚双列直插与非门IC)和简单的模拟集成电路器件(如6管脚双列直插运算放大器)。当时对于器件量产测试是一个很大的问题。 Fairchild开发了计算机控制的测试设备,如5000C用于简单模拟器件测试,Sentry 200用于简单门电路器件测试。两种机器都是由Fairchild自主开发的计算机FST2进行控制。FST2是一种简单的24位,10MHz计算机。 70年代早期,器件开发由小规模集成电路过渡到中规模集成电路,又于80年代早期从大规模集成电路过渡到超大规模集成电路。对于器件制造商来说,这时计算机控制的测试系统已经成为主要的测试设备。
在所有的电子元器件(Device)的制造工艺里面,存在着去伪存真的需要,这种需要实际上是一个试验的过程。为了实现这种过程,就需要各种试验设备,这类设备就是所谓的ATE(Automatic Test Equipment)。 这里所说的电子元器件 DUT(Device Under Test),当然包括IC类别,此外,还包括分立的元件,器件。ATE存在于前道工序(Front End)和后道工序(Back End)的各个环节,具体的取决于工艺(Process)设计的要求。
ATE的作用:
在元器件的工艺流程中,根据工艺的需要,存在着各种需要测试的环节。目的是为了筛选残次品,防止进入下一道的工序,减少下一道工序中的冗余的制造费用。这些环节需要通过各种物理参数来把握,这些参数可以是现实物理世界中的光,电,波,力学等各种参量,但是,目前大多数常见的是电子信号的居多。ATE设计工程师们要考虑的最多的,还是电子部分的参数比如,时间,相位,电压电流,等等基本的物理参数。就是电子学所说的,信号处理。
如今ATE在社会科技发展以及行业需求的需求带动下不断发展,相信以后随着科技的不断发展ATE技术也将应用得更佳的广泛。